ラムリサーチ（Lam Research Corp., Nasdaq: LRCX、本社：米国カリフォルニア州フリーモント）は、3種類の高選択エッチング装置の新製品を発表しました。
革新的な半導体製造技術と新規ケミストリーを採用し、ゲートオールアラウンド (GAA) 構造のトランジスタ開発に取り組む半導体メーカーをサポートします。
Argos(r)、Prevos(tm)、Selis(r) の３つの新製品からなるラムリサーチの高選択エッチング装置のポートフォリオは、最先端ロジックおよびメモリ・ソリューションの設計・製造に強力なアドバンテージを提供します。
進化を続ける現代の技術やデバイスでは、その性能や効率を向上させるため、さらなるデバイスの高集積化が要求されます。ムーアの法則を維持するために、半導体メーカーは現在、トランジスタを垂直に積層する技術の開発を進めています。非常に複雑なその製造工程は、超高選択かつ高精度なエッチング、対象の材料を均一性よく等方的に、そして他の重要な材料を改質、あるいはダメージを与えることなく除去する技術を必要とします。
ラムリサーチの高選択エッチング・ソリューションは、制御性のよい超高選択、かつダメージフリーな材料の除去プロセスを提供し、最先端ロジックのナノシートやナノワイヤの形成をサポートするとともに、
平面的なスケーリングの限界に達したDRAMの三次元構造への飛躍的な進化を可能にします。
世界で最も革新的なロジックおよびファウンドリメーカーと協働して開発が進められたラムリサーチの高選択エッチング装置は、サムスン電子など、業界リーダーのファブですでに運用されており、最先端ロジックウェハの開発プロセスにおける、十数にも及ぶ重要な工程をサポートしています。
サムスンの半導体R&Dセンターのマスター、Keun Hee Bai博士は次のように述べています。
「半導体業界は、継続的により強力、より高速なデバイス性能を目指して突き進んでいます。著しく進むデバイスの高集積化と複雑化に対して、高選択エッチング技術は、我々が最先端ロジックデバイスを製造する上で非常に重要な技術です。サムスンの技術に対する世界的な需要は急増し続けています。当社は生産を強化するほか、最先端のGAAロジック、そしてその先へと向かうデバイス・ロードマップを加速させるために、高選択エッチング装置の広範な革新性と能力を活用しています」
ラムリサーチの高選択エッチング装置のポートフォリオは、以下の3つの新しい装置から構成されます。
ラムリサーチの社長兼CEO、Tim Archerは次のように述べています。「ラムリサーチは、半導体産業の三次元デバイスへの移行、そして次世代デジタル技術の実現をサポートするために必要な半導体製造技術の進歩を推進しています。
40 年以上にわたり、ラムリサーチはエッチングの革新的技術で業界をリードしてきました。最先端のロジックやメモリ製造のために今日、半導体製造装置市場で入手できる最先端のソリューションを提供する、この高選択エッチング製品群の展開で、その伝統を維持できることを誇りに思います」
※すべての登録商標および商標はそれぞれの所有者に帰属します。
ラムリサーチについて
ラムリサーチ（Nasdaq：LRCX）は、半導体業界に革新的な半導体製造装置とサービスを提供するグローバル・サプライヤーです。世界をリードする半導体企業の信頼されるパートナーとして、お客様への揺るぎないコミットメントと共に、優れたシステムエンジニアリング能力、技術的リーダーシップ、より優れたデバイスパフォーマンスの実現を通じ、革新を推進します。
今日では、あらゆる高度なチップが、ラムリサーチの技術によって製造されています。ラムリサーチは、カリフォルニア州フリーモントに本社を置くFORTUNE 500(r)企業で、世界中に事業を展開しています。
詳細については公式サイトをご参照ください。
https://www.lamresearch.com/ja/
