ラムリサーチ(Lam Research Corp., Nasdaq: LRCX)は、先端半導体製造プロセスで使用される材料に関する共同研究を支援するため、国立研究開発法人NIMS(物質・材料研究機構)に対して寄付を行ったことを発表しました。日本におけるこれまでの大学研究への寄付を基盤として、ラムリサーチが国立研究機関を支援するのは今回が初めてとなります。
ラムリサーチ グローバル製品グループのコーポレートバイスプレジデントのジョン・E・ドハティ博士は、次のように述べています。
「半導体製造という過酷な条件下で性能を発揮する材料を開発するには、厳密な分析的知見と工学的なイノベーションの両方が不可欠です。NIMSおよび同機構の研究者との今回の共同研究は、材料挙動に関するメカニズムの理解を一層深めるとともに、製造環境がますます厳しさを増す中で、私たちが行うエンジニアリング上の意思決定を強化するものです」
本研究では、半導体製造で見られる動作条件下において、高性能材料がどのように挙動し、変化していくのかを検証することが期待されています。NIMSの主任研究者である達 博(Da Bo)博士が主導する本研究は、高エネルギープラズマ、反応性化学物質、ならびに継続的な運用によるストレスを伴う環境における材料性能の理解向上に寄与するものです。
NIMS 主幹研究員の達 博博士は、次のようにコメントしています。
「本支援は、材料科学研究を前進させる上で非常に有意義なものです。本研究が、着実な科学的進展につながるとともに、基礎研究と産業ニーズの橋渡しを強化するものになると期待しています」
NIMSは、日本を代表する国立研究機関の一つであり、材料科学分野における幅広い基礎研究および応用研究を、国内外の大学や産業界と連携して推進しています。ラムリサーチは、半導体製造技術の革新を支えるため、世界各地の研究機関との科学研究支援および協業に長年取り組んできました。
ラムリサーチについて
ラムリサーチは、半導体産業に革新的なウェハ製造装置とサービスを提供するグローバルサプライヤーです。ラムリサーチの装置とサービスにより、お客様はより小型で高性能なデバイスを製造することができます。実際、今日のほぼすべての先進的な半導体は、ラムリサーチの技術で作られています。当社は、優れたシステムエンジニアリング、技術的リーダーシップ、価値観に基づく強力な文化、そして顧客に対する揺るぎないコミットメントを兼ね備えています。Lam Research(Nasdaq:LRCX)はカリフォルニア州フリーモントに本社を置き、世界各地で事業を展開するFORTUNE 500(r)企業です。詳細はwww.lamresearch.comをご覧ください。
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